微机电系统工程专业代码是国标代码080210(不可用于填报),學習课程有微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。
微机电系统工程专业在光、机、电技术一体化方面的优势和研究成果为微机电系统技术方面的研究和发展打下了坚实的基础。本系在微纳米和微机电系统如微泵、微传感器、微加速度计等一系列微器件的设计、制造、工艺、测试以及基础理论等方面进行了深入的研究,其它的研究领域还有:微陀螺和微惯导系统、微光学器件、微测量技术、小飞机、小卫星和微米卫星、纳米摩擦学以及光盘机读写头微型机构等。

| 微机电系统工程开设大学名单一览表 | ||||
| 全国排名 | 大学名称 | 大学省份 | 大学层次 | 大学类型 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 清华大学 | 北京 | 本科 | 综合类 |
| 15 | 北京航空航天大学 | 北京 | 本科 | 理工类 |
| 25 | 西北工业大学 | 陕西 | 本科 | 理工类 |
| 27 | 华南理工大学 | 广东 | 本科 | 综合类 |
| 32 | 湖南大学 | 湖南 | 本科 | 综合类 |
| 44 | 苏州大学 | 江苏 | 本科 | 综合类 |
| 69 | 中国矿业大学(北京) | 北京 | 本科 | 理工类 |
| 103 | 浙江师范大学 | 浙江 | 本科 | 师范类 |
| 125 | 北京建筑大学 | 北京 | 本科 | 理工类 |
| 128 | 长沙理工大学 | 湖南 | 本科 | 理工类 |
| 132 | 西南石油大学 | 四川 | 本科 | 综合类 |
| 167 | 三峡大学 | 湖北 | 本科 | 综合类 |
| 301 | 北华大学 | 吉林 | 本科 | 综合类 |
| 375 | 湖北汽车工业学院 | 湖北 | 本科 | 理工类 |
| 496 | 西安航空学院 | 陕西 | 本科 | 理工类 |
| 585 | 重庆工商大学 | 重庆 | 本科 | 财经类 |
| 660 | 北京工商大学 | 北京 | 本科 | 财经类 |
| 800 | 西安建筑科技大学华清学院 | 陕西 | 本科 | 理工类 |
| 883 | 武汉华夏理工学院 | 湖北 | 本科 | 理工类 |










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